半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。

　　所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

　　依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5µm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5µm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75颗/立方英?)，1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35颗/立方英?)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

　　为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿著规定；10000与100000级，必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需要使用到的防静电产品有:特殊的防静电净化服、防静电工作服、防静电连体服,防静电分体服,防静电手指套、防静电地垫、手套、防静电台垫、防静电工作服,导电托盘、粘尘垫、防静电鞋、防静电液、抗静电剂、防静电椅、防静电离子风机、防静电离子风枪、防静电离子风嘴、防静电屏蔽带、防静电气泡袋、表面电阻测试仪、静电电压测试仪、静电综合测试仪 

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下表为无尘室清洁度的定义：