由于无尘室内的空气通常须保持在相对湿度45%的干燥状态，因此容易产生静电；静电在半导体制程上诱发不良的作用主要有两大类，一为引发微粒污染，在各种无尘室的微粒污染源中占第五位，约5%，另一为静电释放(ESD)，其所引发的失效率，在产品早期各种失效发生源中占首位，超过50%；为了克服静电释放的问题，许多制造商已着手研究各种静电控制计画，内容包括制程机仪及人体所产生的静电危害。

　　无尘室用静电释放防护衣着必须具有：(1)静电／静电逸散、(2)微尘粒子产生机会低(低发尘量)、(3)织造强度够、(4)耐用性好、(5)抗特定化学药剂及(6)穿著性舒适等特性。

　　目前抗静电无尘衣大都由人造长纤维织造。这些织物可以是针织、梭织或纺黏合方式织造。聚酯长纤是目前无尘室织物最主要之原料。为了使织物赋予持久性抗静电／静电逸散的效果，一般是于织造过程中嵌入(大概占织物重之0.1-0.5%)导电纱。这些导电纱通常在成品布上显现条或格子状样式(3-10mm，视最终用途而定)。

　　目前市面上有很多种抗静电纤维可供选择，这些纤维的织造通常是在纤维制造过程中加入些许导电物质，分别由以下两种生产方式而得：

　　1.有机高分子纤维(主要是聚醯胺或聚酯)

　　(a)  熔融纺丝时加入导电物质添加物 (例如碳黑)。

　　(b)  熔融纺丝后以导电物质当作纤维后处理。

　　2.无机纤维(例如不锈钢纤维)：导电性纤维需经过纺纱后再织成布，纤维导电性之优劣必须视导电物质之种类、添加量和位置来加以调整，碳纤维是最常用之导电材料，硫化铜、碘化铜和其它氧化金属也常使用。导电物质可以使用类似涂布加工的方式覆盖于纤维外层，或使用复合纺丝使纤维内部含导电材料，亦或一部份分布在表面一部份在纤维内部形成两种介质，导电材料通常添加量在3%～30%之间。
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